5. Название ОПРЕДЕЛЕНИЕ СПЕКТРАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК МНОГОСЛОЙНЫХ Mo-Si ЗЕРКАЛ НА ОБЛАСТЬ ДЛИН ВОЛН 17 - 22 нм В СХЕМЕ СПЕКТРОГРАФА С ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКОЙ НА ПРОПУСКАНИЕ
Авторы Н. Н. Колачевский, В. В. Кондратенко, М. М. Митропольский, Е. Н. Рагозин, А. И. Федоренко, Ф. Бийкерк, С. А. Юлин Аннотация