|
| Главное меню |
2 номер 2011 г. |
|
 1. Название
ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА ДЛЯ МОНИТОРИНГА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
Авторы
П. В. Волков, А. В. Горюнов, В. М. Данильцев, А. Ю. Лукьянов, Д. А. Пряхин, А. Д. Тертышник, О. И. Хрыкин, В. И. Шашкин
Аннотация
В работе приведены результаты по разработке и внедрению оптических систем мониторинга технологических процессов. Разработанная аппаратура базируется, на, принципа,х тандемной низкокогерентной интерферометрии. Оборудование позволяет осуществлять бесконтактный дистанционный контроль оптической толщины прозрачных слоисты,х объектов с нанометровым, разрешением непосредственно в ходе технологических процессов. Один из вариантов аппаратуры, предназначенным для, контроля толщины листового стекла, успешно внедрен в промышленность. Второй вариант, предназначенный для, мониторинга, процессов формирования, полупроводниковых наноструктур, успешно применен для, контроля ростовых процессов в условиях металла органической газофазной эпитаксии и процессов плазмохимического травления.Скачать статью 0.47 Мб (.pdf)
Cite this article as
Volkov, P.V., Goryunov, A.V., Danil’tsev, V.M. et al. Bull. Lebedev Phys. Inst. (2011) 38: 31
DOI
10.3103/S1068335611020011
| |
|
2. Название
ПРИМЕНЕНИЕ МНОГОКОНВЕЙЕРНОГО
ПРОГРАММИРОВАНИЯ ДЛЯ ФИЗИЧЕСКОГО
ЭКСПЕРИМЕНТА
Авторы
С. В. Мизин, О. С. Максумов,
Аннотация
Скачать статью 1.93 Мб (.pdf)
Cite this article as
Mizin, S.V., Makhmutov, V.S., Maksumov, O.S. et al. Bull. Lebedev Phys. Inst. (2011) 38: 34
DOI
10.3103/S1068335611020023
| |
Стр.8 |
3. Название
СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
СКОЛОВ НЕЛЕГИРОВАННЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР
Авторы
Д. Е. Свиридов, В. И. Козловский, Н. В. Забавин
Аннотация
Скачать статью 1.02 Мб (.pdf)
Cite this article as
Sviridov, D.E., Kozlovskii, V.I. & Zabavin, N.V. Bull. Lebedev Phys. Inst. (2011) 38: 41
DOI
10.3103/S1068335611020035
| |
Стр.19 |
4. Название
РЕЗОНАНСНОЕ КОМБИНАЦИОННОЕ РАССЕЯНИЕ СВЕТА
В УЛЬТРАМАЛЫХ КОЛЛОИДНЫХ ЧАСТИЦАХ CdSxSe1-x
Авторы
Т. Н. Заварицкая, И. В. Кучеренко, О. С. Пляшечник, М. Я. Валах, В. Н. Джаган, А. Е. Раевская
Аннотация
Скачать статью 0.26 Мб (.pdf)
Cite this article as
Melnik, N.N., Zavaritskaya, T.N., Kucherenko, I.V. et al. Bull. Lebedev Phys. Inst. (2011) 38: 48
DOI
10.3103/S1068335611020047
| |
Стр.30 |
|
|
|
|
