3. Название СОЗДАНИЕ КВАЗИМОНОХРОМАТИЧЕСКИХ ПУЧКОВ С
ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЛАЗЕРНО-ПЛАЗМЕННОГО ИСТОЧНИКА ИЗЛУЧЕНИЯ И СПЕКТРАЛЬНАЯ ФИЛЬТРАЦИЯ ИЗЛУЧЕНИЯ В
ОБЛАСТИ А < 14 нм
Авторы Н. Н. Колачевский, В. В. Кондратенко, М. М. Митропольский, А. В. Митрофанов, Е. Н. Рагозин, А. И. Федоренко, С. А. Юлин Аннотация